| 1969 | Çѱ¹°øÀÛ±â°è(ÁÖ) ¼³¸³ | |
| 1982 | ¹ü¿ë¼±¹Ý °³¹ß (½ºÀ® 900mm) | |
| 1985 | NC ¼±¹Ý °³¹ß | |
| 1987 | NC ROLL Àü¿ë¼±¹Ý °³¹ß | |
| 1988 | MILLING MACHINE ±â¼úÁ¦ÈÞ(ÀϺ» IKEDA) | |
| PLANOMILLER ±â¼úÁ¦ÈÞ(ÀϺ» MARUFUKU) | ||
| 1989 | CNC ¼±¹Ý ±â¼úÁ¦ÈÞ(ÀϺ» DAINICHI) | |
| 1989 | ºÎ¼³±â¼ú¿¬±¸¼Ò ¼³¸³ | |
| 1990 | ´ëÇü CNC ¼±¹Ý °³¹ß(½ºÀ® 630~1700mm) | |
| 1992 | ±¹³»ÃÖÃÊ 5¸é°¡°ø±â °³¹ß (Å×À̺í 1800¡¿4000) | |
| 1993 | ±¹³» ÃÖ´ë±Ô¸ð ¹ü¿ë¼±¹Ý °³¹ß (½ºÀ® 3060mm) | |
| 1994 | CNC ¼öÁ÷¼±¹Ý °³¹ß | |
| 1995 | SEMI-NC¼±¹Ý ±¹³»ÃÖÃÊ °³¹ß | |
| 1997 | EM¸¶Å© ȹµæ(CNC ¼öÁ÷¼±¹Ý, SEMI-NC¼±¹Ý) | |
| ISO 9001 ǰÁú½Ã½ºÅÛ ÀÎÁõ | ||
| 1998 | EM¸¶Å© ȹµæ(´ëÇü º¸Åë¼±¹Ý) | |
| 1999 | ±¹³»ÃÖÃÊ °î¸é ÀÚµ¿ ±ÝÇü¿¬¸¶±â °³¹ß | |
| 2002 | ±¤ÇÐÇÊÅÍ Æòźȿë LAPPING MACHINE °³¹ß (16B) |
|
No.
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¹ß¸íÀÇ ¸íĪ
|
µî·Ï¹øÈ£
|
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|
ºñ°í
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1
|
CNC ¼öÁ÷¼±¹ÝÀÇ °ø±¸ ³«ÇϹæÁöÀåÄ¡
|
µî·ÏÁ¦
136316È£ |
1998.11.12
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2
|
¸Ó½Ã´×¼¾ÅÍÀÇ ÀÚµ¿°øÀÛ¹° ±³È¯ÀåÄ¡
|
ƯÇãÁ¦
0238127È£ |
1999.10.12
|
|
|
3
|
ÈÇбâ°èÀû Æú¸®½Ì (CMP)ÀåÄ¡ÀÇ ÆÐµå
ÄÁµð¼Ç³Ê (Pad Conditioner) |
ƯÇãÁ¦ 0233953È£
|
1999. 7. 12
|
Çѱ¹ ƯÇã
|
|
4
|
ûùùÊѦÌþîÜ «Ý«ê«·«ó«° íûöǪΠ«Ñ«Ã«É«³«ó«Â«¤«·«ç«Ê
|
÷åúÉð¯ 2815349
|
1998. 8. 14
|
ÀϺ» ƯÇã
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5
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PAD CONDITIONER FOR CHEMICAL MECHANICAL
POLISHING APPARATUS
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Patent 5,904,615
|
1999. 5. 18
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¹Ì±¹ ƯÇã
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6
|
¸Ó½Ã´×¼¾ÅÍ¿ë ¿¬¸¶°ø±¸ ÀåÂøÀåÄ¡
|
ƯÇãÁ¦ 0254627È£
|
2000. 2. 3
|
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|
7
|
¸Ó½Ã´×¼¾ÅÍ ÀåÂøÇü ¿¬¸¶ÀåÄ¡
|
ƯÇãÁ¦ 0277491È£
|
2000. 10. 10
|
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|
8
|
ºñÁ¢ÃË½Ä Ç¥¸é °ÅÄ¥±â ÃøÁ¤ÀåÄ¡ ¹× ±× ¹æ¹ý
|
ƯÇãÁ¦ 0288613È£
|
2001. 2. 8
|
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9
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°î¸éÇ¥¸éÀÇ ´ÙµëÁú °¡°øÀ» À§ÇÑ Àüµµ¼º
´ÙµëÁú ÀåÄ¡ |
-
|
(2000. 1. 17)
|
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10
|
¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ ¿¬¸¶¸¦ À§ÇÑ ÄÁµð¼Å³Ê
±¸µ¿ÀåÄ¡ |
ƯÇãÁ¦ 0331487È£
|
2002. 3. 23
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